基金委工程与材料科学部发布2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“芯片亚纳米级制造前沿探索”项目指南
发布时间：2023-11-14
来源： 科研院
作者：基金人才办
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近期，基金委工程与材料科学部发布2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“芯片亚纳米级制造前沿探索”项目指南，具体情况见：https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab442/info90822.htm。
一、科学目标
本项目围绕未来芯片制造面临的共性基础科学问题，旨在通过揭示表界面亚纳米级尺度的定域、定量、定势调控机制，建立亚纳米级精度表面与结构的可控加工方法，为发展原子级制造开展先导性探索，支撑新一代芯片制造关键工艺和装备能力的升级换代。
二、资助方向
1. 芯片制造过程中的亚纳米级去除新原理与新方法；
2. 芯片先进制程中的三维亚纳米级结构构筑新原理与新方法；
3. 第四代半导体材料的亚纳米级制造新原理；
4. 芯片亚纳米级制造过程中的缺陷检测与修复。
三、资助计划
本原创项目资助期限为3年，申请书中研究期限应填写“2024年1月1日－2026年12月31日”。计划资助4-5项，平均资助强度200万/项。
四、校内申请时间
系统提交时间为2023年11月24日－11月25日16时。
五、校内联系人
科研院基金人才办公室
刘斌、章俊梅，021-34206890
